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| 摘要: |
| 应用无机溶胶-凝胶法在玻璃基片上制得VO2薄膜样品,并研究了真空热处理温度和掺杂对VO2薄膜光电性能的影响.结果表明:在350,400,450℃真空热处理温度下得到的VO2薄膜,其相变温度大约都在65℃,其中400℃真空热处理温度下得到的VO2薄膜表现出明显的电阻突变现象;在VO2薄膜中掺入W6 ,Mo6 ,Cu2 (原子比均为2%),VO2薄膜的相变温度得到有效降低,但是掺杂会使VO2薄膜的光学透过性降低. |
| 关键词: 无机溶胶-凝胶法,二氧化钒薄膜,掺杂,相变 |
| DOI： |
| 分类号:TQ171 |
| 基金项目:中国洛阳浮法玻璃集团有限责任公司科技发展基金资助项目 |
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| Property of VO2 Thin Film Affected by Doping and Treatment Temperature |
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WU Wei-he WANG De-ping HUANG Wen-hai QIN Jian-zhong
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| Abstract: |
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| Key words: inorganic sol-gel method,vanadium oxide(VO_2) thin film,doping,phase transition |
